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    2. 掃描電鏡簡單操作流程


      一、樣品裝載和開機:
      1、樣品制作、安裝。(根據樣品導電性強弱來判定是否鍍膜)
      2、打開電腦、顯示器及電鏡電源。
      3、替換樣品臺,按Exchange 鍵,抽真空。(換樣前若樣品室有真空,需提前釋放。)
      4、開軟件,雙擊桌面的SENSE-SEM圖標,等待軟件運行。

       

      SS-150掃描電鏡


      二、測試:
      1~11為整個測試的操作流程,14為練習內容,可以比較樣品臺高度Z不同,電鏡測出圖片效果。Z最低,圖片景深好。Z比最低點高,圖片清晰度好。
      1、調樣品臺高度,Z軸調最低點位置 ,最小值-22.0(大約)?!緦嶋H測樣中樣品臺高度要根據樣品情況來調整】
      2、選合適加速電壓、探測器類型及高真空模式后,點擊“start”開始調試。
      3、放大畫面前實時圖像若為白色,向右調節第一聚光透鏡電流CL1。(CL2為最右端)。
      4、Collector-CLT收集器、Amplifier-PMT放大器,一般調最大。
      5、在實時圖像模式調粗聚焦,Z為-22.0(自動平臺控制盒有顯示)時,W/D調為20(不同機型,W/D值有所差異),圖像會清晰。Z固定一個高度時,W/D只需調一次。
      6、移動樣品臺位置,調X/Y軸和Beam shift光束位移使樣品測試部位在畫面中間。
      7、打開wobble功能,旋轉光闌桿X/Y軸,使光闌孔對齊,圖像不晃動。(SS-60無此步驟)
      8、調微聚焦,畫面清晰。放大需要的倍數,重復調微聚焦。
      9、調Stigmation消像散,X、Y值±20%,重復調微聚焦,圖像會更
      清晰。(圖片放大倍數小于3千-5千倍,可不用調Stigmation。)
      10、適當調整Contrast對比度和 Brightness亮度。
      11、Photo Mode3掃描,存儲圖片。
      12、如需測試樣品其它部位,縮小倍數,重復上述6~11步驟。
      13、如需測試其它樣品,先點擊軟件“stop”按鈕,待顯示出start,按設備上的Exchange鍵,釋放真空,之后更換樣品,再按Exchange 鍵,抽真空,重復以上1~11步驟。
      14、改變樣品臺高度,Z軸-12,W/D調為5,圖像會清晰。再重復上述6~11步驟。


      三、關機:
      1、點擊軟件“stop”按鈕,停止采集圖像,再關軟件退出。
      2、只關電鏡電源,不要釋放真空。(樣品室真空狀態,可保護鎢絲不被大氣氧化)
      3、如果不用電腦,可以關閉電腦。
      注意:
      1、sense軟件打開前,電鏡電源需開啟,SEM-PC電纜連接良好,否則會提示報錯。
      2、如果在第二步的2中,點擊“start”前,真空需抽完,否則點擊“start”無反應;點擊“start”后,電子束電流值顯示40~60uA,實時畫面會不出圖像,此時需更換新鎢燈絲。
      3、在實際中會需要不同倍數的圖片,所以在第二步的8中,放大倍數應按需要的最大倍或更大來調整,圖像調清晰后,縮小需要的倍數即可,不用再聚焦。
      4、樣品室內必須保持清潔,不允許有雜物、碎屑等觸碰到探測器。

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      創建時間:2019-01-23 15:08
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